真空腔體的加熱方法分為內(nèi)加熱和外加熱兩種,外加熱是在腔體外部加熱,依托腔體壁將熱量傳導(dǎo)進(jìn)來,通過熱輻射傳遞熱量;內(nèi)加熱是直接在真空腔體內(nèi)部進(jìn)行加熱,相比內(nèi)加熱方法,外加熱有滯后性,且內(nèi)加熱方法的控溫精度相對(duì)于外加熱來說更準(zhǔn)確,所以一般情況下我們會(huì)選擇內(nèi)加熱方法.

加熱器的選擇也非常重要,一般選用裝置方便的扣板式加熱板進(jìn)行內(nèi)加熱.扣板式加熱板的外表是鏡面的不銹鋼板,在平整度上比直接由真空腔體壁拋光更有優(yōu)勢(shì),更利于進(jìn)行熱輻射傳導(dǎo)熱量.

一般真空腔體內(nèi)部是規(guī)矩的長(zhǎng)方體,用一面加熱進(jìn)行熱輻射的方法熱傳導(dǎo)不能合理涵蓋整個(gè)腔體的內(nèi)部空間,所以作用不是很抱負(fù),.通過實(shí)驗(yàn)證明,采取在真空腔體內(nèi)正上方、正下方、左旁邊面、右旁邊面各裝置一套加熱板加熱的方法,選用面對(duì)面熱輻射方法對(duì)腔體內(nèi)部進(jìn)行加熱.

因?yàn)樵O(shè)備在真空狀態(tài)下選用了上,下,左,右四面四路加熱的方法,比單純一路加熱就要雜亂多了,這也是溫度控制的難點(diǎn).因此選用PID來進(jìn)行溫度控制調(diào)節(jié),控溫?zé)崤荚O(shè)置在腔體內(nèi)部,這樣可以更好地控制真空腔體內(nèi)的溫度.

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